2024年1月10日,美国宾夕法尼亚州立大学帕克分校研究团队在《自然》上发表了一项研究成果,首次演示了基于大面积生长的二维(2D)材料的晶圆级三维(3D)集成以及三层堆叠三维芯片,为大规模二维器件走向更复杂、高密集和多功能的三维集成电路奠定了基础。
在半导体领域,3D集成不仅能够在单位面积内封装更多器件,实现“扩展摩尔定律”,还能为“超越摩尔定律”引入更多潜在技术。尽管硅基3D集成电路已实现商用,最新的鳍式场效应晶体管(FinFET)技术和全环绕栅极场效应晶体管(Gate-All-Around FET)技术预计将延续“摩尔定律”至2030年,但针对2D材料等新兴纳米材料的3D集成研究仍在初步阶段。3D集成可以提供一个混合异质平台,用于在3D堆栈的不同层上集成基于新兴材料的非计算器件,从而“超越摩尔定律”。
全球知名芯片制造公司,如英特尔(Intel)、台积电公司(TSMC)和超威半导体公司(AMD),都认为3D集成提供了广泛可能性,并已经展示了在封装解决方案方面的进展,如Intel的Foveros、TSMC的3D Fabric和AMD的3D V-Cache等3D封装工艺。与3D封装相比,单片式3D集成可以提高互连密度并降低静电耦合。然而,对于硅基逻辑器件,约450℃的工艺加工温度限制了单片式集成的发展。虽然引入如锗(Ge)和铟镓砷(InGaAs)等高迁移率沟道材料可以补偿性能,但会增加制造复杂性。此外,块材半导体(如体硅)在低于3纳米的沟道厚度下,由于沟道与介电层界面上的电荷载流子散射加剧,不适用于进一步缩放。
为了克服这些挑战,2D半导体、碳纳米管和纳米线等纳米材料被视为有前景的候选材料。其中,2D材料是一类具有独特的物理和化学性质的新兴材料,在许多领域展示出应用前景,不仅被广泛应用于高速、低功耗的晶体管制造,还可用作芯片中的存储介质,并用于制造光电器件和传感器。最近,2D半导体还在晶圆级制备、器件性能和集成策略方面取得了显著进展,并被列入各个行业技术路线图。此外,2D材料与硅基微芯片在3D异质集成方面的最新进展也展示了其在开发多功能处理器方面的潜力。
基于以上研究进展和发展挑战,美国宾夕法尼亚州立大学帕克分校研究人员展示了基于大面积生长的二硫化钼(MoS2)和二硒化钨(WSe2)的多功能2D场效应晶体(FETs)的晶圆级单片式3D集成。该研究主要取得了4方面突破性进展:(1)实现了MoS2 FETs的晶圆级单片式双层3D集成,每层包含超过10,000个场效应晶体管;(2)实现了MoS2 FETs和WSe2 FETs的三层3D集成,第一、二、三层分别包含约800个、800个和450个场效应晶体管;(3)实现了按比例缩放的MoS2 FETs的双层3D集成,每层有200多个场效应晶体管、沟道长度(LCH)?为45?nm;(4)基于MoS2的3D电路功能演示,实现传感和存储等功能。
随着人工智能、物联网等新兴技术的快速发展,对高性能、低功耗芯片的需求日益增加。此外,未来的芯片制造还需要更加注重集成度和功能性的提升,以满足新兴领域的发展需求。2D场效应晶体管的3D集成方法有望促进未来芯片进一步实现小型化和集成化,为后摩尔时代的芯片发展开辟了新思路、提供了新机遇。
论文信息: Darsith Jayachandran, Rahul Pendurthi, Muhtasim Ul Karim Sadaf, et al. Three-dimensional integration of two-dimensional field-effect transistors[J]. Nature,2024, 625:276–281. https://www.nature.com/articles/s41586-023-06860-5